如何檢驗碳化硅輥棒的質(zhì)量
(1)碳化硅輥棒尺寸偏差的測量瓷輥圓度、錐度、外徑尺寸偏差的測量:在距瓷輥兩端100mm處,分別用分度值為0.02mm的游標卡尺測量瓷輥的最大外徑及同截面上與之垂直方向上的外徑,精確至0.02mm,取同一截面的兩個(gè)測量值之差作為圓度值,以最大值作為測量結果;以?xún)啥说耐鈴狡骄抵?作為錐度;以所測四次外徑的測量值與公稱(chēng)外徑之差作為外徑尺寸偏差,以最大值和最小值作為測量結果。
(2) 碳化硅輥棒直線(xiàn)度的測量標準棒的選定 根據需要選定不同規格的瓷輥標準棒,碳化硅輥棒生產(chǎn)廠(chǎng)家采用直徑與被選瓷輥相接近的金屬標準棒(直線(xiàn)度等級不低于9級,長(cháng)度大于被選瓷輥)平放于工作臺上,使被選瓷輥緊貼金屬棒,轉動(dòng)被選瓷輥360°,用塞尺測兩者的最大間隙,小于0.2mm的才能用作標準棒。測量根據被測產(chǎn)品的規格,選用與其直徑相接近的瓷輥標準棒,把瓷輥標準棒平放于工作臺,使樣品緊貼瓷輥標準棒,轉動(dòng)樣品360°,用塞尺測量?jì)烧咧g的最大間隙,即為直線(xiàn)度公差,以管長(cháng)的百分數表示。
(3) 碳化硅輥棒廠(chǎng)家急冷急熱性試驗截取約650mm長(cháng)的瓷輥,烘干后冷卻,迅速插入規定溫度的電爐中,插入深度約為400mm;將瓷輥兩端支起,且沿長(cháng)度方向溫差不大于±5℃,保溫10min后迅速取出,平放在耐火材料支架上,在空氣中冷卻至室溫,檢驗有無(wú)裂紋及斷裂。
